Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы (книга)
| Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы | |
 | |
| Автор: | В. Киреев А. Столяров |
|---|---|
| Оригинал издан: | 2006 |
| Издательство: | Техносфера |
| Выпуск: | 13 января 2006 г. |
| Страниц: | 192 |
«Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы» — книга 2006 года.
Содержание |
Содержание 
От издателя
«Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов…»
Рецензии
См. также
Ссылки
| Это незавершённая статья о литературе или литературном произведении. Вы можете помочь проекту, исправив и дополнив её. |
